一、预处理阶段
- 基材清洁与准备
- 退镀前需彻底清洁工件表面,去除油脂、氧化物等杂质,确保退镀效果均匀性15。清洗方法包括机械打磨、化学腐蚀或氩离子轰击工艺,以提升后续退镀层与基材的结合力。
- 对于复杂结构工件(如凹陷或缝隙),需重点处理膜层薄弱区域,避免退镀后残留或腐蚀。
- 装夹与设备调试
- 将工件固定于退镀设备中,调整靶材与工件的距离,确保退镀过程均匀性。
- 检查真空系统、电源设备及退镀液参数(如温度、浓度),电解退镀需额外测试导电性。
二、退镀核心工艺
- 化学退镀
- 采用酸性或碱性溶液(如烷基磺酸、钙盐)与PVD膜层反应,通过氧化还原反应剥离涂层。适用于氮化锆、碳化铬等膜层,但退镀速度较慢且需针对性选择药水。
- 需控制反应温度(常温至60℃)和浸泡时间,避免基材腐蚀或膜层残留。
- 电解退镀
- 通过外加电源(如30V阳极电解)加速退镀反应,利用物理剥离作用高效去除膜层。退镀时间短(3-5分钟),兼容高熔点材料(如氮化钛)且废水处理成本低。
- 需确保工件导电性良好,挂具设计需避免电流分布不均导致局部腐蚀。
- 激光退镀
- 采用皮秒或飞秒激光聚焦照射涂层区域,通过瞬时高温蒸发或分解膜层。适用于玻璃基材等敏感材料,退镀精度高(透光率≥83%),无化学污染。
- 需精确控制激光能量与扫描路径,避免基材热损伤。
三、后处理与质量控制
- 清洗与钝化
- 退镀后需清洗工件表面残留药液,采用超声波或氮气吹扫工艺。
- 对金属基材进行钝化处理(如无镍封孔剂),提升抗二次氧化能力。
- 性能检测
- 检测退镀后基材表面粗糙度(Ra≤0.2μm)、耐盐雾性(≥500小时)及色差(ΔE<0.5)。
- 通过压升率测试验证设备密封性,确保后续工艺稳定性。
四、常见问题与优化方案
总结:PVD退镀工艺需根据基材类型(金属/玻璃)、膜层特性(氮化锆/碳化铬)及生产要求选择化学、电解或激光退镀方式34,核心流程涵盖预处理、定向退镀及后处理三大阶段,需重点控制药水兼容性、设备参数及质量检测标准。 PVD退镀药水